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銅拋光液
FC-1000系列銅拋光液主要用于集成電路芯片中銅互連CMP工藝。

 

其主要特征是：

1、中性配方，采用高純硅溶膠為磨料

2、高且可調控的銅拋光速率

3、低的蝶形坑和侵蝕

4 、沒有腐蝕，低的缺陷

5、優(yōu)異的表面，表面粗糙度低

6、高濃縮比

7、長壽命

8、 環(huán)境友好